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HORIBA 流量计液体流量计LF-F50M-A
LF-F类型质量流量控制器根据流量量程，可以适用到 值， 0.1Pa•s。有关高粘度的液体请预先进行咨询协商。 *3： 以SEMI E56-1296 为准。 *4： 进行测量・控制的液体温度如果低于环境温度时，使用时请把温差控制在10℃以 内；如果高于液体温度时，使用时请把温差控制在3℃以内。 *5：这是在粘度0.001Pa・s中的F.S.流量值。
可以进行低沸点液体材料、高粘度液体材料的精密流体控制。 •超洁净类型 規格 名称 质量流量计 型号 LF-F20M-A LF-F30M-A LF-F40M-A LF-F50M-A LF-F60M-A 全标度流量
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